Piezo制御の周波数制御特性を考慮してUnity Gain 周波数 100Hz にくるようなレーザー制御の Open Loop伝達関数を考えてみた(下図)。 するとUnity Gain周波数がいままで温度制御のOpen Loop伝達関数で 決まっていたのがPiezo制御のOpen Loop伝達関数で決定されるようになったために 温度制御のLoopのGainを約30倍引き上げることができた。